企业等级: | 普通会员 |
经营模式: | 生产加工 |
所在地区: | 江苏 苏州 |
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孟先生 先生
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手机号码: | 15190025037 |
公司官网: | www.0512zxy.com |
公司地址: | 苏州市吴中区国家环保产业园 |
发布时间:2020-09-20 17:53:21
振鑫焱光伏科技有限公司常年采购:高价回收硅片,电池片,初级多晶硅,银浆布,单晶硅,多晶硅,太阳能电池,光伏组件,太阳能电池板,客户撤退,降级,库存,El,不良测试,二手,旧工程,拆卸,路灯,拆解电站,拆卸,胶合板,层压板,无边界晶体硅,多晶硅,单晶硅,实验板,***偿还,返工,光伏模块回收等。
二、 翘曲:
1、 硅片太薄:控制原始硅片厚度;
2、 印刷铝浆太厚:控制铝浆增重量;
3、 烧结温度过高:调整烧结炉4、5、6、7区温度;
4、 烧结炉冷却区冷却效果不好:查看风扇状况、进出水温度压力等
三、 铝包:
1、 烧结温度太高:调整烧结炉4、5、6、7区温度;
2、 印刷铝浆太薄:增大铝浆的印刷量;
3、 使用前浆料搅拌不充分:搅拌时间必须达到规定时间;
4、 铝浆印刷后烘干时间不够:增加烘干时间或提高烘干温度;
5、 烧结排风太小:增大烧结炉排风;
6、 烧结炉冷却区冷却区冷却效果不好:查看风扇状况、进出水温度压力等;
振鑫焱光伏科技有限公司常年采购:高价回收硅片,电池片,初级多晶硅,银浆布,单晶硅,多晶硅,太阳能电池,光伏组件,太阳能电池板,客户撤退,降级,库存,El,不良测试,二手,旧,工程,拆卸,路灯,拆解电站,拆卸,胶合板,层压板,无边界晶体硅,多晶硅,单晶硅,实验板,***偿还,返工,光伏模块回收等。
影响因素
1 .频率
射频 PECVD 系统大都采用 50kHz~13.56 MHz 的工业频段射频电源。较高频率( gt;4MHz )沉积的氮化硅薄膜具有更好的钝化效果和稳定性。
2 .射频功率
增加 RF 功率通常会改善 SiN 膜的质量。但是,功率密度不宜过大,超过 1W/cm2 时器件会造成严重的射频损伤。
3 .衬底温度
PECVD 膜的沉积温度一般为 250 ~ 400 ℃ 。这样能保证氮化硅薄膜在HF 中有足够低的腐蚀速率,并有较低的本征压力,从而有良好的热稳定性和抗裂能力。低于 200 ℃ 下沉积的氮化硅膜,本征应力很大且为张应力,而温度高于 450 ℃ 时膜容易龟裂。
4 .气体流量
影响氮化硅膜沉积速率的主要气体是 SiH4 。为了防止富硅膜,选择NH3/SiH4=2~20 (体积比)。气体总流量直接影响沉积的均匀性。为了防止反应区下游反应气体因耗尽而降低沉积速率,通常采用较大的气体总流量,以保证沉积的均匀性。
5 .反应气体浓度
SiH4 的百分比浓度及 SiH4/NH3 流量比,对沉积速率、氮化硅膜的组分及***性质均有重大影响。
理想 Si3N4 的 Si/N = 0.75 ,而 PECVD 沉积的氮化硅的化学计量比会随工艺不同而变化,但多为富硅膜,可写成 SiN 。因此,必须控制气体中的 SiH4 浓度,不宜过高,并采用较高的 SiN 比。除了 Si 和 N 外, PECVD 的氮化硅一般还包含一定比例的氢原子,即 SixNyHZ 或 SiNx :H 。
6 .反应压力、和反应室尺寸 等都是影响氮化硅薄膜的性能工艺参数。
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电池片丝网印刷技术
印刷厚度:丝网和感光膜的厚度决定印刷后图形的厚度即线条的厚度,如图 10 所示,在一般情况下,丝网目数越低,丝经越粗,印刷后的浆料层就越高,所用丝网目数较高时,印刷后浆料层就低一些。感光膜的厚度与丝网目数和线条的宽度有关:目数越高,丝径越细,感光膜与丝网的接触面积越小,二者的附着力减小,
果印刷线条变窄,增加感光膜的厚度易造成脱落,所以感光膜较薄,感光膜的厚度约为丝网厚度的 15 %~ 25 %;对于背铝和背银工序,选取250 目丝网,其厚度为 58um,感光膜厚度为 10 ~ 15um ,则印后厚度为 68 ~ 73μm ,这里计算出来的厚度时浆料的湿厚度( wetthickness ).需经过烘干( dry )和烧结( fire )才是终厚度(干厚度),干厚度是湿厚度的 30% ~ 40% ;对于正银工序,选取 330 目丝网,其厚度为 44um ,感光膜厚度为 5 ~ 10μm ,则印后湿厚度约为 49 ~ 54μm 。
选择丝网丝径及目数时,要求网格的孔长为浆料粉体粒径的 2.5 ~ 5 倍;目数越低丝网越稀疏,废旧发电板回收,网孔越大,油墨通过性就越好;网孔越小,油墨通过性越差,如图 9 所示。
网框 :网框大多采用硬铝及铝合金以承受绷网所产生的力,连接丝网的底面需要较高的平面度,约为 0.04mm × 150mm × 150mm ; 网框规格一般为承印物的 2 倍:以 150mm 电池片为例,承印物面积为
150mm × 150mm ,网框内口的面积应为300mm × 300mm 。
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