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孟先生 先生
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公司地址: | 苏州市吴中区国家环保产业园 |
发布时间:2020-09-06 03:02:05
振鑫焱光伏科技有限公司常年采购:高价回收硅片,电池片,初级多晶硅,银浆布,单晶硅,多晶硅,太阳能电池,光伏组件,太阳能电池板,客户撤退,降级,库存,El,不良测试,二手,旧,工程,拆卸,路灯,拆解电站,拆卸,胶合板,层压板,无边界晶体硅,多晶硅,单晶硅,实验板,***偿还,返工,光伏模块回收等。
影响因素
1 .频率
射频 PECVD 系统大都采用 50kHz~13.56 MHz 的工业频段射频电源。较高频率( gt;4MHz )沉积的氮化硅薄膜具有更好的钝化效果和稳定性。
2 .射频功率
增加 RF 功率通常会改善 SiN 膜的质量。但是,功率密度不宜过大,超过 1W/cm2 时器件会造成严重的射频损伤。
3 .衬底温度
PECVD 膜的沉积温度一般为 250 ~ 400 ℃ 。这样能保证氮化硅薄膜在HF 中有足够低的腐蚀速率,并有较低的本征压力,从而有良好的热稳定性和抗裂能力。低于 200 ℃ 下沉积的氮化硅膜,本征应力很大且为张应力,而温度高于 450 ℃ 时膜容易龟裂。
4 .气体流量
影响氮化硅膜沉积速率的主要气体是 SiH4 。为了防止富硅膜,选择NH3/SiH4=2~20 (体积比)。气体总流量直接影响沉积的均匀性。为了防止反应区下游反应气体因耗尽而降低沉积速率,通常采用较大的气体总流量,以保证沉积的均匀性。
5 .反应气体浓度
SiH4 的百分比浓度及 SiH4/NH3 流量比,对沉积速率、氮化硅膜的组分及***性质均有重大影响。
理想 Si3N4 的 Si/N = 0.75 ,而 PECVD 沉积的氮化硅的化学计量比会随工艺不同而变化,但多为富硅膜,可写成 SiN 。因此,必须控制气体中的 SiH4 浓度,不宜过高,并采用较高的 SiN 比。除了 Si 和 N 外, PECVD 的氮化硅一般还包含一定比例的氢原子,即 SixNyHZ 或 SiNx :H 。
6 .反应压力、和反应室尺寸 等都是影响氮化硅薄膜的性能工艺参数。
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5.1.5 尺寸
电池尺寸的检验采用分辨力优于0.02mm 的卡尺测量,电池的厚度采用分辨力优于 0.01mm 的千分尺测量。
电池的角度偏差采用分辨力优于0. 1° 的量角器测量。
电池的厚度偏差和总厚度偏差检验参照 GB/T6618 进行
5.1.6 外观
在照度不小于 800Lux的白色光源下对电池的表面颜色进行目测。
电池的崩边、钝性缺口等外观缺损的尺寸检测,采用分辨力优于 0.02mm 的量具测量。 5.2 力学性能
5.2.1 弯曲变形
使用表面平整度优于0.01mm 平台,电池背面朝下水平放置,用分辨力优于 0.01mm 的量具进行检验。
5.2.2 电极附着强度或电极 / 焊点抗拉强度
电极的附着强度和电极 / 焊点的抗拉强度试验采用同一方法,。将一根长 150mm ,宽 1.7mm 的焊锡条引线焊接在电池电极上,焊接长度为 10mm ,焊接质量以不虚焊为准,在与焊接面成 45 °对引线施加拉力,逐渐加大拉力,在拉力不低于 2.49N 的情况下持续 10s 以上。
5.3 电性能
5.3.1 电性能参数的温度系数测量电池的温度系数测量按SJ/T 10459 进行。
5.3.2 电性能参数测量
电池的电性能参数测量按GB/T6495.1 和 GB/T6495.3进行。
5.3 热循环试验
将测试电池样品间隔的放置在环境试验箱(相对湿度小于 60% )中,按图 4 的温度分布,使电池的温度在 -40 ℃± 2 ℃ 和 85 ℃± 2 ℃ 之间循环。在两个极端温度的保持时间不少于 10min ,循环次数 5 次。再按本标准的规定对电池的外观、力学性能和电池转换效率进行检测。
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5 、 检测方法
5.1 设计和结构
5.1.1 基体材料
电池的基体材料应按相关详细规范的要求及检测方法进行检测。
5.1.2 电极
5.1.2.1 电池电极的完整性、电极图形位移的检验应使用分辨力优于 0.01mm 的标准尺测量。
5.1.2.2 在照度不小于 800Lux 的白色光源下,目测电极是否变色。
5.1.2.3 电池电极的导电性按 GB/T17473.3 进行。
5.1.2.4 电池电极的可焊性按 GB/T17473.7 进行。
5.1.3 背面铝膜
5.1.3.1 背面铝膜与基体材料的匹配性检测
通过检测电池的弯曲变形,验证背面铝膜材料的热膨胀系数与基体材料的匹配性。适用表面平整度优于 0.01mm 平台,电池背面朝下水平放置,用分辨力优于 0.01mm 的量具进行检验。
5.1.3.2 背面铝膜与基体材料的附着强度测验
如图 2 所示放置样品,在满足 EVA 充分交联的条件下压层,取出后立即撕下四氟布,待冷却到室温后,用刀割断 EVA 和铝膜,撕去 EVA 条,观察有无铝膜脱落。
5.1.3.3 背面铝膜外观检验
背面铝膜的凸起高度应使用分辨力优于 0.01mm 的带标尺的光学显微镜测量,图形缺陷采用目测。图形位移采用分辨力优于 0.02mm 的卡尺测量。
5.1.3.4 背面铝膜的导电性检测背面铝膜的导电性按GB/T17473.3 进行。
5.1.4 减反射膜附着强度检测
减反射膜附着强度的测试采用胶带试验测定粘合性的方法,胶带附着强度不小于 44N/mm 。具体按 ASTM3359 进行,减反射膜不脱落。
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